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產品功能

Map互動功能：包括Raw Data, Gallery Map, Single Map, Compare Map, Stack Map, Dynamic DSA等。

缺陷數據分析管理：從數據獲取到可視化、互動分析、追蹤和分類，強化整體缺陷管理。

DSA智能診斷：自動化過程中的DSA(DefectSourceAnalysis)能智能診斷每個缺陷首次出現的工站。

缺陷分布圖與照片瀏覽：便于缺陷改善、人員瀏覽、比對，以確認缺陷成因。

疊圖比較：通過疊圖前后層比較，快速找出重復或新增缺陷，縮短追蹤時間。

設備機構分析：提供設備機構圖案導入，支持CAD和自定義，幫助確認機構導致的缺陷成因。

產品特點

自動化數據處理：實現缺陷數據的集成、整合和標準化。

豐富的分析功能：提高缺陷管理和改善效率。

互動分析界面：提供缺陷晶圓圖、缺陷照片和分類統(tǒng)計量等互動分析工具。

生產線支持：支持生產線的缺陷分布和外觀檢視，提供批量再分類功能。

產品效益

1、快速定位工站和設備造成的缺陷

2、大幅縮短缺陷追蹤時間

3、提供一體化的可視化，分析，追蹤和分類