主要用途及適用范圍
主要用途:
1.用于存放研磨頭,并實(shí)時(shí)監(jiān)控和上報(bào)研磨頭狀態(tài)
2.實(shí)時(shí)顯示研磨頭狀態(tài)信息(如:新、舊、是否需要保養(yǎng)等)
適用范圍:適用于半導(dǎo)體晶圓廠實(shí)時(shí)追蹤研磨頭
工作原理
研磨頭正確放入抽屜后觸發(fā)行程開(kāi)關(guān),然后觸發(fā)貨位的天線模塊讀取標(biāo)簽信息, 最后點(diǎn)亮對(duì)應(yīng)狀態(tài)的LED燈;每個(gè)控制板控制縱向5個(gè)格位,每個(gè)控制板之間相互 獨(dú)立不關(guān)聯(lián)。
產(chǎn)品尺寸及重量
外觀尺寸
重量:約400kg